会议城市在羊城。
地点放在羊城奥体中心,可容纳8万人,挤一挤十万人也是可以的。
具体的后勤保证什么,陈诺听的索然无味,便离开了。
接下来的时间里,陈诺继续刷生物科学和神经科学、脑科学的书本,如此过了两三天后,那台吃灰的7n光刻机终于运到了中科院的一个研究所的无尘车间内。
陈诺倒是想运到未来科技实验室,可这玩意有近200吨,他们实验室可没地方安置这个庞然大物。
“怎么样,第一次看到这个大家伙震撼吧!”
周正峰指着光刻机笑了。
为了将这台光刻机从江城运到京都,一路上可是拆了好几个收费站,足足花了六七天时间才弄到这里来。
陈诺围着这台号称人类智慧集大成的产物转了几圈,外部有着真空封闭的隔板,什么也看不到。
“陈教授,我们运过来简单,但这一路上的震动等等,肯定会有很大的误差,不经过一段时间的调试,是无法使用的。”
“浪费那个时间干嘛,调试好了也要被我拆掉的。”
陈诺摆了摆手:“只要能启动就行。”
“行了,您该忙啥忙啥吧,这里交给我。对了,再给我找几个身强力壮的人来,这玩意拆起来麻烦,下午两点前报到就行。”
周正峰咧嘴笑了一下后,转身就走。
等到所有人离去后,陈诺突然道:“一号,接管光刻机系统,切断信号。”
“收到,教授!”
“教授,已经接管,完成操作!”
几秒钟后,一号就传来了回应,效率相当的高。
陈诺拿过旁边的操作说明手册开启学神附身卡看了起来。
研究的时间相当的快,当他看完操作手册后,不得不感叹光刻机制造商的牛逼,还有比制造商更牛逼的设计师们。
只是再精密,今天也难逃被他拆掉的厄运。
第一天,陈诺将内部封闭框架等给拆掉了,这样设备的作用是将工作台与外部环境隔离,保持水平,减少外界震动干扰,并维持稳定的温度、压力。
第二天,测量台、曝光台被他弄下来了,这两个称之为双工作台系统,承载硅片的工作台。
……
第七天,能量控制系统也被他拆下来了,这个玩意控制最终照射到硅片上的能量,直接影响到芯片质量。
整整七天的时间,陈诺将这台价值5亿元的光刻机拆成了十二个子系统。
他对整个光刻机的组成部分了然于心,零部件啥的他可没那个闲心去研究。
每拆一个大部分,他都会对其中的一些部件、原理、远转等研究一翻。
看着眼前被拆的七零八落的光刻机,心中满是感慨。
这种级别的光刻机真如外国的专家所说,给我们全套图纸我们也是搞不出来,一是零部件的精度问题,二是组装精度问题。
这是任何一个国家或者公司能搞定的,涉及到了光学镜头、光源、轴承等等。
说asl是制造商,不如说他们是设计商、组装商更为恰当,只要涉及的相关光源、镜片等等有一个卡了它,他们就彻底的完蛋。
可惜在政治的意图下,这种可能性不大。
这台光刻机使用的是fd-soi工艺,工艺在制造过程中相对简单,但是soi基片价格稍贵。
而陈诺的fi工艺制造过程更为复杂,但基片价格便宜,让两者的实际制造成本相差不大。
但不管怎么说,至少是用另一种方式,绕过了国外设置的专利壁垒。
市面上有、soi三种,fi将是第四种。
“周部长,你可以派人来接接收了,我这边暂时搞定了。”
陈诺用实验室的特殊电话给周正峰打了个电话。
“你搞定了?研究出啥了没?”
“你猜?”
“行吧,你等一会,我让中科院的微电子研究所的钱院长带人去接收。”
周正峰敢肯定陈诺一定研究出什么了,否则不可能出实验室。
打完电话,陈诺百无聊奈的看着被拆成了一地零件的光刻机,心里嘀咕了起来。
“系统,看在你家主人没有功劳也有苦劳的份上,总得给个技能鼓励一下吧!”
“别人的系统是要啥有啥,怎么到我这里你就这么怂呢?你是不是在你们系统界混的不咋滴?”
“你早点让我与世间无敌,你也早点回你们系统界交差不行吗?”
“你再不给技能,我就罢工了,让你社死!”
陈诺在心里将系统里里外外吐槽了一遍后,心中低喝了一声。
“系统,签到!”
“叮!签到成功,恭喜宿主获得fi工艺改良技术框架。”
“我去,总算是给了个技能,真特么的不容易!”
陈诺在这个实验室内呆了七天,每天拆完机器就签到,结果连根毛都没有获得。
没想到都要走了,竟然获得了一个,难道威胁真的有用。
“叮!威胁系统,你是第一人,真他娘的是个人才,再威胁、辱骂系统,直接剥离一项技能!”
突如其来的声音让陈诺懵逼了。
自获得系统开始,系统一直都很冷淡,主动回应他的这是第三次,而且还是警告。
得咧,你是大爷,惹不起。
陈诺不再搭理系统,而是接收fi工艺改良技术框架。
十几分钟,他眼中狂喜和震撼。
原本给fi工艺能将精度从28n推进到14n,这段时间他不断的研究,有一种新的想法,或许可以从14n提升到了7n。
据他猜测7工艺的极限了,再想提升只能看euv光刻机。
可没想到这个给的fi工艺改良技术框架最终可以达到5n,这简直是超乎了他的想象。
若是真达到了5n工艺,以碳基材料的特性,绝对能吊打2n的硅基芯片。
从这一点上,国产光刻机已经可以开始崛起了。
但想要完全国产化可能还需要一段路要走,比如高端光源、镜片等。
以国内的自主研发的光刻机使用的光源和镜片,即便加在陈诺的这个fi工艺,7n是极限了。
饭要一口口吃,路要一步步走,有了现在这个技术,至少三年内在芯片领域不会被卡脖子了。
三年时间足够发生太多的事情,也许三年后他就于世间无敌了。